因業務調整，部分個人測試暫不接受委托，望見諒。

檢測項目

系統泄漏率檢測：氦質譜法定位漏點，測量范圍為110?至110??Pam/s。

管道流導測定：定量氣體通導能力，參數包含分子流與粘滯流狀態下的傳導率值。

真空室壓力分布測繪：多點監測壓力梯度，分辨率達0.1Pa。

閥門通導性能驗證：開關狀態下氣體流通效率測試，壓差范圍10?至10?Pa。

泵組抽速測試：單位時間氣體排出量測量，精度5%。

密封件滲透率分析：材料氣體滲透特性評估，涵蓋氦氣透過率等參數。

真空計校準驗證：測量設備精度確認，校準點覆蓋10??至10?Pa。

殘余氣體分析：質譜法鑒定氣體成分，質量數范圍1-200amu。

升壓率測試：密封性能快速評估，監測速率0.1-100Pa/min。

交叉污染檢測：多腔體系統隔離性能驗證，壓差靈敏度0.01Pa。

檢測范圍

半導體制造設備：光刻機、刻蝕機真空腔體導通性能驗證。

航天器熱真空試驗艙：空間環境模擬裝置密封與流導特性測試。

醫用直線加速器：放療設備波導管真空導通狀態監測。

冷凍電鏡系統：生物樣本觀測真空環境氣體流動分析。

粒子加速器：高能物理實驗真空管道通導能力評估。

鍍膜生產線：真空濺射設備氣體傳輸效率檢測。

低溫恒溫器：超導研究真空絕熱層密封完整性測試。

真空冶煉爐：特種金屬熔煉設備壓力維持能力驗證。

質譜分析儀：檢測儀器內部真空系統導通參數。

真空絕熱板：建筑保溫材料密封性定量分析。

檢測標準

ASTME493質譜檢漏儀校準方法。

ISO3529真空技術術語定義規范。

GB/T3163真空管路圖形符號標準。

ASTMF780氦質譜檢漏標準程序。

ISO1608旋片真空泵抽速測試方法。

GB/T4982容積真空泵性能測量規范。

ISO21360真空泵性能測試通則。

GB/T6070真空法蘭連接密封性標準。

檢測儀器

氦質譜檢漏儀：定位微小泄漏點，靈敏度110?Pam/s。

電容薄膜真空計：高精度絕對壓力測量，量程10??至10Pa。

標準漏孔裝置：校準檢漏系統基準，流量不確定度3%。

四極質譜分析儀：殘余氣體成分定性與定量檢測。

流導測量裝置：管道通導能力定量測試，流量控制精度2%。

檢測流程

1、咨詢：提品資料(說明書、規格書等)

2、確認檢測用途及項目要求

3、填寫檢測申請表(含公司信息及產品必要信息)

4、按要求寄送樣品(部分可上門取樣/檢測)

5、收到樣品，安排費用后進行樣品檢測

6、檢測出相關數據，編寫報告草件，確認信息是否無誤

7、確認完畢后出具報告正式件

8、寄送報告原件