因業務調整，部分個人測試暫不接受委托，望見諒。

檢測項目

氫氣分壓：測量氫氣在真空中的分壓水平。檢測參數：范圍0.01-100Pa，精度5%相對標準偏差。

氦氣濃度：量化氦氣殘留含量。檢測參數：檢出限1e-6Torr，測量誤差2%滿量程。

水蒸氣含量：分析水汽殘留對系統的影響。檢測參數：相對濕度0.1-100%RH，分辨率0.01%RH。

氧氣分壓：監測氧氣水平以評估氧化風險。檢測參數：范圍0.001-10Pa，線性度3%讀數。

氮氣濃度：檢測氮氣殘留用于泄漏診斷。檢測參數：靈敏度0.1ppm，重復性1.5%測量值。

二氧化碳分壓：量化二氧化碳氣體成分。檢測參數：范圍0.01-50Pa，響應時間小于1秒。

甲烷含量：分析甲烷等輕烴氣體殘留。檢測參數：檢出限1e-7mbar，動態范圍1e-9至1e-3mbar。

氬氣濃度：測量氬氣作為惰性參考氣體。檢測參數：精度2%絕對誤差，校準點0.01-100Pa。

一氧化碳分壓：檢測一氧化碳潛在污染源。檢測參數：范圍0.001-5Pa，穩定性1%每小時漂移。

烴類總量：評估總烴殘留的綜合指標。檢測參數：綜合測量范圍1e-9至1e-4mbar，積分誤差5%總濃度。

氨氣分壓：分析氨氣殘留影響系統性能。檢測參數：范圍0.005-20Pa，最小可測濃度0.001Pa。

氪氣濃度：量化氪氣稀有氣體組分。檢測參數：靈敏度0.05ppm，校準曲線R值大于0.99。

硫化氫含量：檢測硫化氫腐蝕性氣體殘留。檢測參數：檢出限0.01ppb，線性范圍0.01-100ppb。

氙氣分壓：測量氙氣在高真空應用中的水平。檢測參數：范圍0.001-10Pa，精度1.5%相對偏差。

檢測范圍

半導體制造設備：用于晶圓加工真空腔的殘余氣體監控。

航天器真空系統：確保空間模擬環境的潔凈度和安全性。

粒子加速器：維持高真空條件以優化粒子束傳輸效率。

核聚變裝置：控制等離子體區域雜質氣體影響聚變反應。

真空鍍膜設備：保證薄膜沉積過程中的氣體環境純度。

電子顯微鏡：維持超高真空成像避免樣品污染。

真空泵系統：評估泵性能、泄漏源和氣體捕集效率。

醫療真空設備：用于手術室和診斷儀器的真空環境監測。

食品包裝真空：確保產品保質期的惰性氣體環境控制。

科研實驗室真空：支持物理化學實驗的高精度氣體分析。

核反應堆冷卻系統：監控冷卻劑真空回路的殘余氣體。

太陽能電池制造：優化光伏材料沉積真空環境。

真空爐熱處理：控制金屬處理過程中的氧化氣體水平。

低溫超導設備：維持超導磁體真空系統的氣體純度。

環境模擬艙：用于氣候測試真空室的殘余氣體評估。

檢測標準

依據ISO15367標準進行激光誘導氣體分析。

ASTME595規范總質量損失和揮發性冷凝物測量。

GB/T13306真空技術術語定義殘余氣體參數。

ISO3529真空技術詞匯統一檢測方法描述。

GB/T6070殘余氣體分析術語標準。

ASTMF1375半導體真空系統氣體分析指南。

ISO16000室內空氣殘余氣體檢測擴展應用。

GB/T20173真空系統性能測試通用要求。

ISO21360真空泵氣體處理能力評估標準。

ASTMD6350材料真空出氣特性測試方法。

檢測儀器

四極質譜儀：一種質譜儀器，通過電場分離離子質量電荷比。在本檢測中，用于精確測量多種氣體分壓和濃度。

殘余氣體分析儀：專為真空系統設計的質譜設備，檢測殘余氣體組分和動態變化。在本檢測中，實時監控氣體泄漏和污染源。

電離規質譜儀：結合電離規和質譜技術，實現高靈敏度氣體分析。在本檢測中，用于低濃度氣體檢出和定量。

飛行時間質譜儀：通過離子飛行時間分離氣體離子，支持快速多組分檢測。在本檢測中，用于高效掃描氣體譜圖。

磁扇質譜儀：使用磁場偏轉離子路徑，提供高分辨率氣體分離。在本檢測中，用于高精度殘余氣體識別和量化。

傅里葉變換質譜儀：基于離子回旋共振原理，實現寬范圍質量分析。在本檢測中，用于復雜氣體混合物的詳細組分解析。

檢測流程

1、咨詢：提品資料(說明書、規格書等)

2、確認檢測用途及項目要求

3、填寫檢測申請表(含公司信息及產品必要信息)

4、按要求寄送樣品(部分可上門取樣/檢測)

5、收到樣品，安排費用后進行樣品檢測

6、檢測出相關數據，編寫報告草件，確認信息是否無誤

7、確認完畢后出具報告正式件

8、寄送報告原件